Το WF6 χρησιμοποιείται κυρίως ως πρώτη ύλη για τη διαδικασία χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD) μεταλλικού βολφραμίου στη βιομηχανία ηλεκτρονικών ειδών. Το WSi2 που κατασκευάζεται από WF6 μπορεί να χρησιμοποιηθεί ως υλικό καλωδίωσης σε ολοκληρωμένα κυκλώματα μεγάλης κλίμακας (LSI) και μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί ως πρώτη ύλη για ηλεκτρόδια ημιαγωγών, φθόριο, πρώτες ύλες για χημικούς παράγοντες, καταλύτες πολυμερισμού, οπτικά υλικά κ.λπ.